線性馬達平台LinearMotorActuator

• 系統精度高,剛性強--能快速的到達定位,並能在低速中平穩的運轉.
  
• 整體高度低,元件少,系統安裝及保養容易.
  
• 最高速達3m/sec 最高加速度5Gs, 重覆精度0.1μm-5μm(依光學尺而定)
  
• 可適用於無塵室環境
• 提供方便使用之電纜線連接座